| 柔性模式扫描光学显微镜及其检测系统 |
| US15615679 2017-6-6 发明申请 |
| 2018-11-15 |
| 一种用于样品的柔性检查的方法，包括使用射束源形成输入射束，使用输入掩模阻挡输入射束的一部分，以及从输入射束的一部分形成成形射束。 成形光束在物镜的第一部分处被接收并聚焦到样品上。 在物镜的第二部分处收集反射光束。 散射光收集在物镜的第一和第二部分以及物镜的第三部分。 散射光在暗场检测器模块处被接收，并且散射光的一部分被引导到暗场检测器。 暗场检测器模块包括具有一个或多个输出孔径的输出掩模，该输出掩模允许穿过物镜的第三部分的散射光的至少一部分作为指向暗场检测器的散射光的部分通过。 |
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