| 灵活的方式扫描光学显微镜和检查系统 |
| WOUS18031863 2018-5-9 发明申请 |
| 2018-11-15 |
| 柔性检验样品的方法包括使用波束形成的输入光束源，使用输入的输入光束阻挡部分的掩模，形成字梁从输入光束的一部分。所述成型梁第一的一部分处被接收物镜聚焦到样品上。收集反射光束在物镜第二份。散射光线被收集在第一和物镜第二份，在第三份；物镜。所述散射光接收到暗场检测器模块和部分散射的光被引导一种暗场检测器。所述暗场探测器模块包括输出掩模具有一个或多个输出孔隙，后者允许至少部分所述散射光经过第三部分通过所述部分的物镜所述暗场散射的光被引导到探测器。 |
微信公众号