| 压电式集成MOEMS扫描光栅微镜 |
| CN201710687362.6 2017-8-11 发明申请 |
| 2017-10-13 |
| 本发明公开一种压电式集成MOEMS扫描光栅微镜，涉及光谱分析和微光机电系统领域，由集成扫描光栅微镜、扭转梁、连接梁、角传感器、压电微驱动器和固定框架组成。所提出的集成扫描光栅微镜是基于偏晶向(111)硅基，在正面集成了闪耀光栅，在背面掏蚀了凹槽，提高了衍射效率和器件稳健性。为了在低驱动电压下实现大角度扫描，本发明采用了压电微驱动器并利用连接梁对驱动位移进行放大。为了对集成扫描光栅微镜运动状态实时监测，在连接梁上一体化集成了压电角传感器。本发明结构新颖简单，集成工艺兼容，可显著提高扫描光栅微镜的衍射效率、分辨率、稳健性和集成度，并改善扫描光栅微镜的驱动与角传感性能。 |
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