| 极紫外光产生系统、极紫外光产生方法和汤姆逊散射测量系统 |
| US15622139 2017-6-14 发明申请 |
| 2017-9-28 |
| 一种极端紫外光产生系统可包括 : 腔室； 目标馈送单元，被配置为将目标馈送到所述腔室中； 驱动激光单元，被配置为用驱动脉冲激光束照射所述目标以产生等离子体，从而产生极紫外光； 探测激光单元，被配置为用探测脉冲激光束照射所述等离子体，从而产生汤姆逊散射光； 光谱仪，被配置为测量所述汤姆逊散射光中的离子项的光谱波形； 以及波长滤波器，设置在分光计的上游，并且被配置为抑制具有预定波长的光进入分光计。 具有预定波长的光可以是包含汤姆逊散射光的光的一部分，并且预定波长可以与探针脉冲激光束的波长基本相同。 |
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