| 枪镜片设计中的带电粒子显微镜 |
| EP18170249 2018-5-1 发明申请 |
| 2018-11-7 |
| 带电粒子显微镜，包括 : 一个真空室(2)；-源(4)，用于产生一束带电粒子；-用于装标本样品夹持器(H)；一种照明装置，设置在所述源和试样架，和包含在所述光束的传播方向 : ?光源透镜(8，8)；?冷凝器系统(10)；-检测器(22)，用于检测从样品发射的辐射响应于由所述照射光束，其中，所述光源透镜的复合透镜，在所述传播方向包括 : -磁透镜(8)包括永磁体(16)侧的真空封装，但产生的磁场内；一种可变静电透镜(8)。 |
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