| 一种用于真空互联扫描电镜样品托 |
| CN201710273192.7 2017-4-24 发明申请 |
| 2018-11-2 |
| 本发明涉及真空机械领域，尤其涉及一种用于真空互联扫描电镜样品托，用于解决真空互联下扫面电镜晶圆样品(wafer)的装载和固定问题。该样品托具具有三层结构，顶层由样品托盘(5)、等距分布的样品压紧弹簧(3)、相对应的径向推杆(2)、径向推杆固定座(4)、中心旋转凸轮(1)、轴承(7)以及优选圆形结构的样品托盘连接座(6)底层构成；中间层是一个弹簧预应力层，下层是一个与中心旋转凸轮(1)中心轴过盈配合的样品托安装接口(9)。固定顶层的样品托盘(5)，旋转底层样品托安装接口(9)可以带动中心旋转凸轮(1)推开或闭合样品压紧弹簧(3)来实现真空互联下扫描电镜晶圆样品的装载和固定。 |
微信公众号