| 一种用于集成电路检测的工业型原子力显微镜 |
| CN201820428166.7 2018-3-28 实用新型 |
| 2018-11-2 |
| 本实用新型公开了一种用于集成电路检测的工业型原子力显微镜，包括主机、气动减震台、控制器和上位机软件；主机设置于气动减震台的屏蔽罩内部，并与控制器相连接，控制器与上位机软件通信连接；主机包括底座、手柄、支架、横梁、第一位移台、扫描台、吸盘、第二位移台、升降台、激光检测头、成像装置和探针座；本案涉及的原子力显微镜用于集成电路在线检测，可对大规模集成电路晶片进行大范围和快速三维形貌扫描成像，也可单独进行表面纵向轮廓扫描，具有纳米级的分辨率，扫描速度快、范围大、分辨率高、适用的样品尺寸大，最大可达300mm。 |
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