| 一种用于真空环境型原子力显微镜的光机结构装置 |
| CN201820429862.X 2018-3-28 实用新型 |
| 2018-11-2 |
| 本实用新型公开了一种用于真空环境型原子力显微镜的光机结构装置，具有真空腔体模块、上光学成像及激光检测模块、下光学成像模块；真空腔体模块包括真空腔、压电位移台、压电扫描器、载物片、样品台、探针和探针座；上光学成像及激光检测模块包括物镜、手动位移台、半透半反镜、激光器、可调反光镜、四象限探测器、光源和图像传感器；下光学成像模块包括物镜、手动位移台、光源、半透半反镜和图像传感器；本案首次在原子力显微镜的光机结构中设计了上下两套辅助光学成像装置，能同时用于材料样品或生物样品的精确扫描定位，而且首次使原子力显微镜光路与辅助光学成像系统光路集成一体，使得整个系统光路简化、结构紧凑。 |
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