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透射电镜样品对准的系统和方法

WOIB18050910 2018-2-14 发明申请

2018-11-1

一种系统和方法涉及将电子束到样品，获取样品的图像所施加的电子束。样品的样品相对取向的带轴自动确定基于反射分布在图像。样品自动进行调整对齐的方向与所述样品区根据所确定的取向。