| 地下原子力显微镜与超声波导 |
| EP17167754 2017-4-24 发明申请 |
| 2018-10-31 |
| 纳米结构的地下成像的方法和系统的内部埋设有板状基底。超声波发生器(30)的侧面(10)的基板(10)，用于将超声波(w)在基板(10)的内部。该内部包含或形成一波导(10)内的超声波的传播方向(x)上沿的基板(10)的长度横向于侧面(10)。所述纳米结构(10)进行成像，利用AFM针尖(21)，以测量效果(e)的顶部表面(10)超声波直接或间接的相互作用造成(w)与所述地埋纳米结构(10)。 |
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