| 扫描探针显微镜 |
| JP2018520296 2016-6-2 发明申请 |
| 2018-10-25 |
| (10)在同一区域的样品探针(16)在向前的方向上进行扫描，同时将跟踪数据的采集同时获取数据扫描回扫时在相反的方向上，(32)(20)检测到的偏差的检测偏差的偏差信息存储部存储。这个偏移，试样探针-靶之间的距离的指示点的距离偏差值。该选择部分(31)的图像数据，每个测量点的正向扫描，反向扫描时相比偏差的偏差，在扫描过程中的偏差较小的选择所获得的图像数据，所选择的图像数据存储在数据存储部(33)的存储区域(33)。(30)所述图像形成部基于所选择的数据显示在显示部(5)的形状的试样制得的表面。因此，所述样品(10)在后续的探针-样本延迟的反馈控制距离尖锐的不规则性，即使在不规则性，精确显示，又能更接近于实际样品表面形状。 |
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