| 在样品表面上进行表面测量方法及其扫描探针显微镜系统 |
| US15769881 2016-10-21 发明申请 |
| 2018-10-25 |
| 本文件涉及使用扫描探针显微镜系统在样品表面上执行表面测量的方法。 该系统包括用于支撑样品的样品支撑结构、包括包括悬臂的探针和布置在悬臂上的探针尖端的传感器头、以及用于相对于衬底表面扫描探针尖端以对纳米结构进行映射的致动器。 所述方法包括以下步骤 : 使用致动器振动所述悬臂，以及相对于所述衬底表面移动所述探针以执行所述扫描。 探针被保持在与衬底表面相距一定距离处，以便允许在悬臂的所述振动期间在探针尖端和表面之间的多个间歇接触力矩处进行接触。 悬臂的振动和探头的移动是同时进行的。 为了执行表面测量，该方法包括获得指示所述扫描期间探针尖端的位置的传感器信号，并且通过在傅立叶变换中量化两个或更多频率分量来分析该信号，以确定在所述接触时刻期间所述衬底表面和所述探针尖端之间的力的力值的估计。 |
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