| 红外线显微镜 |
| US15954679 2018-4-17 发明申请 |
| 2018-10-25 |
| 本发明所要解决的问题是提供一种测量精度高、交叉干涉少的红外显微镜，红外显微镜10包括光源12、用于将来自光源的红外光照射到样品16上的照射单元14、用于将透射通过样品16或被样品16反射的红外光聚焦的聚焦单元18、以及用于检测聚焦的红外光的检测器20，所述光源12、用于将来自光源的红外光照射到样品16上的照射单元14、用于将透射通过样品16或被样品16反射的红外光聚焦的聚焦单元18以及用于检测聚焦的红外光的检测器20。 照射单元14包括第一孔24，第一孔设置在来自光源的红外光穿过的位置。 聚焦单元18包括第二孔径30，第二孔径设置在第一孔径24处的红外光的成像位置。 第一孔具有多个孔，这些孔以与设置在检测器20中的光接收元件的布置相对应的间隔设置，以检测红外光作为检测光。 第二孔30具有与第一孔24具有相同尺寸和布置的孔。 |
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