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金属装置，用于扫描探针显微镜及其制造方法

EP16875011 2016-12-13 发明申请

2018-10-24

本发明涉及用于利用扫描探针显微镜的装置和一种方法，用于制造其的方法。金属制的设备包括单一主体(1)的两个部分(2)和(3)，所述第二部件(3)具有亚微米点(4)，其限定了纳米级的顶点(7)。本发明还提供了一种方法，用于制造光效率高，用于扫描探针显微镜的探针。