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一种方法，用于自动对准的扫描透射电镜电子衍射的旋进的数据映射

EP18162997 2018-3-20 发明申请

2018-10-24

本发明公开了用于自动对准的扫描透射电子显微镜(STEM)，用于采集旋进的电子衍射(ped)映射高空间分辨率的数据。