| 一种应用于扫描探针显微镜的传感器 |
| CN201810292818.3 2018-3-30 发明申请 |
| 2018-10-23 |
| 本发明提供一种应用于扫描探针显微镜的传感器，包含：底座、位于底座上侧的绝缘承载层、位于绝缘承载层上的第一石英晶振、第二石英晶振、以及探针；第二石英晶振的基座部配置于第一石英晶振的第一叉脚上，探针配置于第二石英晶振的第一叉脚上；第一石英晶振和第二石英晶振两者各叉脚的延伸方向相同，且两者的谐振频率不同。本发明的传感器具有结构简单的优点，且本发明的传感器具有多频原位激发/检测功能，因此具有更高的灵敏度和分辨率。 |
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