| 扫描探针显微镜 |
| US15938185 2018-3-28 发明申请 |
| 2018-10-18 |
| 一种扫描探针显微镜，包括 : 位置改变单元，在Z方向上相对改变悬臂的固定端和样品S的表面的位置；位置改变单元，在Z方向上相对改变悬臂的固定端和样品S的表面的位置， 偏转量测量单元，其测量所述悬臂的偏转量， Z方向移动距离检测器，其在固定端相对于试样S的表面从预定的初始位置相对移动直到探头的尖端与试样S的表面接触并且偏转量变为预定值的同时检测Z方向上的移动距离，以及初始位置改变单元，其在移动距离低于预定下限时将初始位置改变到远离试样S的表面的更远的位置。 |
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