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透射电子显微镜电子束产生
US15769170 2016-10-20 发明申请
2018-10-18
一方面,本发明提供了一种在透射电子显微镜装置中产生电子束的方法。 该方法包括 : 由脉冲电子源[300]产生电子脉冲[306],在第一谐振腔[302]中加速电子脉冲,使加速的电子脉冲通过漂移空间[314],以及通过使加速的电子脉冲与第一谐振腔[302]异相90度来校正第二谐振腔[304]中加速的电子脉冲的能量扩散。
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