| 电子显微镜 |
| WOJP17015072 2017-4-13 发明申请 |
| 2018-10-18 |
| 通常,为了观察样品的整体,物镜电流的电流值降低到1/6正常使用,降低在样品附近的磁场达到50倍。由于这个原因,正常使用时,观察倍率设定,升高的电流的一个因素在样品发生漂移。为了解决该问题,电子显微镜的设置,包括电子源照射电子束到样品上,和检测器,用于检测从样品产生的电子通过电子束辐照,其特征在于,电子显微镜中,物镜上的物镜线圈和下线圈的上方和下方设置样品,所述极性上的物镜的物镜线圈和下线圈反相的相对于一个另一个。 |