| 使用了扫描式白色干涉显微镜的三维形状计测方法 |
| TW107100779 2018-1-9 发明申请 |
| 2018-10-16 |
| 在使用扫描白色干涉显微镜的三维形状测量方法中，使用负的干涉信号来确保干涉信号的光量以进行测量对象的适当测量。 本发明提供了一种三维形状测量方法， 它是一种利用扫描式白色干涉显微镜的三维形状测量方法，其特征在于：利用传感器获取与从光源照射到测量对象上的照射光相对应的干涉信号； 获得信号强度比小于干扰信号中信号强度的补偿值的基线的负干扰信号； 以及基于负干扰信号的信号强度，将用于测量测量对象的高度信息的照射光的光量设置为测量光量。 |
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