| 自动对焦显微镜系统 |
| CN201810395360.4 2018-4-27 发明申请 |
| 2018-10-12 |
| 本发明实施例提供一种自动对焦显微镜系统,该自动对焦显微镜系统包括镜筒透镜、物镜、掩膜版以及处理器。本发明实施例将掩膜版的图案投射到被测物上,继而利用掩膜版的图案进行自动对焦,能够对透明的被测物进行精确对焦,并且利用掩膜版的图案进行对焦能够克服孔洞或缺陷带来的对焦精确度不高的缺陷。本发明实施例利用处理器确定所采集的掩膜版的图案的对比度,继而利用对比度确定物镜与被测物之间的距离,从而实现了自动对焦显微镜系统对被测物的自动对焦,提高了对焦效率。 |