| 原子力显微镜的方法和系统，用于进行地下成像 |
| EP17164817 2017-4-4 发明申请 |
| 2018-10-10 |
| 本文档涉及一种数据传输的方法，地下成像的嵌合结构下方的衬底表面，使用原子力显微镜系统。该系统包括探头与探针针尖，以及一传感器，用于感测所述探针吸头的位置。所述方法包括以下步骤 : 定位所述探针吸头相对于基板；第一的声输入信号施加到衬底上；第二的声输入信号施加到衬底上；响应检测输出信号从基板第一和第二的声输入信号；以及分析所述输出信号。第一的声输入信号包括第一信号和第第二信号分量，第一信号分量包括频率在250兆赫兹和第二包括以下频率的信号成分2.5兆赫兹的频率或以提供一差值至多为2.5兆赫兹的频率与第一信号分量，以使所述衬底中的诱导应力场分析；并且其中第二的声输入信号包括第三1兆赫以上频率的信号分量，使得散射的返回信号包括一个分数为第二的声输入信号所散射的嵌合结构。这使得能够进行不同的深度中成像一个工序中，在大的深度范围。 |
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