| 用于扫描探针显微镜的装置和方法 |
| DE102017205528 2017-3-31 发明申请 |
| 2018-10-4 |
| 本申请涉及用于扫描探针显微镜的装置(400)，包括 : 至少第一探针(α)(415，1000)与至少第一悬臂(410，610，1210，1410，1710，1760，1810)，第第一测量头的自由端(150)包括 : 至少一个第一反射面(b)(420)，在自由端区域(140)的至少1/1悬臂(410，610，1210，1410，1710，1760，1810)而配置和安排的，至少两个光束(440，450，460，1240，1250，1260，1440，1450，1460)在不同方向反射；和(D)至少2/1干涉仪(475，480，485)，适配，所述至少两个由至少1/1反射面反射的光束(445，455，465第一)，用于确定所述位置测量探头(150)使用。 |
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