| 用于透射电子显微镜的光学腔基有质动力位相板 |
| US15939028 2018-3-28 发明申请 |
| 2018-10-4 |
| 光学腔由第一反射镜和第二反射镜限定。 第一反射镜具有包括第一凹面镜的前表面。 第二反射镜具有包括第二凹面镜的前表面。 该光学腔具有具有小焦斑尺寸的谐振光学模式。 所述光学腔可用于增强电子束图像中的相位对比度的方法,以及用于电子束成像或电子束分光镜的相关系统,所述系统具有透射电子束显微镜。所述光学腔可用于增强电子束图像中的相位对比度的方法,以及用于电子束成像或电子束分光镜的相关系统。 |