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扫描探针显微镜和扫描方法
EP18164373 2018-3-27 发明申请
2018-10-3
扫描探针显微镜悬臂在悬臂的前端具有探针,驱动单元中的一个进行分离操作,分离样品和探头从另一在速度高的响应速度的悬臂的状态下,接触探针样品表面,确定单元,其确定所述探针分离时,样品表面的振动悬臂在预定的幅值在分离操作期间所述悬臂的谐振频率,和驱动控制单元,其停止的分离操作,当所述确定单元确定所述探针分离从样品表面相对移动的探针与样品连接到探针的位置位于下一测量点的样品。
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