| 一种圆管型外绝缘窄尺寸扫描探针显微镜镜体 |
| CN201810526715.9 2018-5-16 发明申请 |
| 2018-9-28 |
| 本发明一种圆管型外绝缘窄尺寸扫描探针显微镜镜体，包括圆管型绝缘框架、圆管型压电马达、圆管型扫描单元、探针以及样品台，圆管形压电马达共轴固定于圆管型绝缘框架内部一端，圆管形压电马达自由端步进方向与圆管型绝缘框架轴向一致，圆管型绝缘框架另一端设置样品台，圆管型扫描单元包括滑块、滑块弹簧片、圆管型四象限XYZ压电扫描管以及探针，所述滑块弹簧片将滑杆弹性地压在圆管型绝缘框架上，滑块的轴向与圆管型绝缘框架轴向一致，滑块的一端指向圆管形压电马达的自由端，另一端共轴设置圆管型四象限XYZ压电扫描管。该扫描探针显微镜镜体实现窄尺寸及横断面无导电回路设计，适用于极低温、强磁场等极端物理条件，尤其适用于快变磁场条件。 |
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