| 原子力显微镜尖端进行校准的方法 |
| DE102017205049 2017-3-24 发明申请 |
| 2018-9-27 |
| 本发明涉及一种校准方法用于原子力显微镜的尖端(1)，所有的刚度力曲线第一的参考样品(x(n))(2)与已知机械特性待标定的尖端(1)被接收。然后将倒数(1×10-4/K x(n))的刚度力曲线(x(n))的形成，其中倒数(1×10-4/K x(n))之和的倒数的刚度k，根据模型batog(C)和进一步的倒数的刚度(质量百分比)，所述尖端(1)的表面不平度取决于形成。接收到数据时，通过反相运算(1×10-4/K(c)x(n))的刚度力与刚度曲线模型，prefactor batog(B)，K(质量)的刚度以往复运动，所述尖端(1)的表面不平度，而且，作为参数，最后创建(1)的尖端半径)计算和峰值硬度(cadvice。 |
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