| 用多尖扫描探针显微镜校准和成像的方法 |
| US15591071 2017-5-9 发明申请 |
| 2018-9-27 |
| 提供了用于校准和扫描多个AFM探头的系统、方法和程序产品，所述多个AFM探头一起用于同步扫描。 提供了一种自动校准过程，其使用来自多个AFM探头的扫描数据来自动校准系统并将探头定位在相继更接近和更精确的相对偏移位置。 多个头被同时和同步地扫描以产生扫描图像，扫描图像被自动评估以识别共同特征。 由此，计算图像的相对偏移，并且可以知道每个探针尖端的真实位置。 利用该知识，应用位置偏移以使探针尖端以期望的空间关系更靠近。 这些技术可以在从粗到细的两个或多个级别上重复，并且可以在探测或移动到新的感兴趣区域之后重复。 |
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