具有小中心模糊的宽带折反射显微镜物镜
 
US15762423  2016-10-25  发明申请

2018-9-27
 
  一种反射式显微镜物镜,对190nm至1000nm工作范围内的任何波长进行颜色校正,并包括没有通孔和背面平行反射镜的初级球形前表面反射镜,每个反射镜具有相应的反射环形涂层,该反射环形涂层限定了在这种涂层中形成的与光轴同轴的孔。 没有Mangin元件的物镜被配置成使得对于直径小于约50微米的任何光场,Strehl比不小于0.0781,和/或纵向球差不大于0.0008毫米,和/或像散小于0.0005毫米,和/或畸变在操作范围内小于0.012%。
 
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