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与冷凝器的扫描透射电子显微镜物镜系统和方法及其使用
EP17000452 2017-3-20 发明申请
2018-9-26
本发明的目的是提供一种扫描透射电镜与能够调节电子束电流。扫描透射电子显微镜,电子源,其被配置为提供初级电子与跨梁,聚光透镜系统,物镜透镜和检测系统。本发明的显著特征是所述冷凝系统分区内透镜第一聚光透镜所述的系统第二和第三聚光透镜。这种隔板可以放置冷凝器第一聚光透镜和冷凝器之间的缝隙变焦系统。呈现装置上,从而允许独立地调节束流的有效放大光斑大小。
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