| 扫描透射电子显微镜和高通量方法的电子散射角度分布图像采集 |
| EP17000450 2017-3-20 发明申请 |
| 2018-9-26 |
| 本发明提供的方法及电子束装置(1)用于高通量采集的电子散射角度分布用于结构确定图像材料，可应用于纳米级结构。电子束装置(1)根据本发明生产的电子散射角度分布优化的图像对象在低放大率，其特征在于 : 所述电子束系统(1)还包括检测器扫描系统(18)优化用于快速移动的电子散射角度的离轴检测器平面上分布图像和梁消隐电路(23)，下料的梁(3，6)，而所述探测器的扫描系统(18)发射电子束(6)移动在子场检测器(12)和在所述读出。 |
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