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产业专利数据

扫描透射电子显微镜

US15926623 2018-3-20 发明申请

2018-9-20

扫描透射电子显微镜适用于通过分离的扫描偏转器和进动偏转器获得高质量的进动电子衍射(PED)图案。磁或静电偏转器可用于扫描和进动。这使得每个偏转系统的参数的独立优化能够同时实现两个偏转系统的宽操作范围。