| 三维力电透射电镜原位样品杆 |
| CN201810533122.5 2018-5-25 发明申请 |
| 2018-9-18 |
| 本发明公开了一种三维力电透射电镜原位样品杆。包括样品杆前端、样品杆外壳和手握柄，所述的样品杆外壳内部设有传动杆和压电陶瓷管，手握柄上设有用于调节传动杆径向移动的微分头粗调器；传动杆一端压电陶瓷管连接；所述的手握柄内设有压电马达；压电马达与传动杆另一端同轴连接；所述的样品杆外壳上设有一传动杆支点。本发明采用“粗调?细调”相结合的方式，分别可以实现毫米级别的粗移动和纳米级别的精细移动，既解决装样困难又实现探针XYZ三维大范围的移动，既提高了前端探针的稳定度又通过杠杆模式，进一步提高探针位移的精度。 |
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