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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

以初级带电粒子小束阵列检查样本的方法、用於以初级带电粒子小束阵列检查样本的带电粒子束装置、及用於样本之检查的多柱显微镜

TW106140439 2017-11-22 发明申请

2018-9-16

一种在带电粒子束装置中由初级带电粒子小束阵列检查样本的方法，带电粒子束装置具有一光轴。方法包含：产生初级带电粒子束；由初级带电粒子束照射多孔镜头板，以产生初级带电粒子小束阵列；以及由第一与第二像场弯曲校正电极校正带电粒子束装置的像场弯曲。方法进一步包含施加电压至第一与第二像场弯曲校正电极。第一与第二像场弯曲校正电极提供的场强度之至少一者，在正交于带电粒子束装置的光轴的一平面中变化。方法进一步包含由接物镜将初级带电粒子小束聚焦在样本上的个别位置。