| 电子显微镜和样品高度调节方法 |
| JP2017036765 2017-2-28 发明申请 |
| 2018-9-13 |
| [问题]z位置可以精确地调整到电子显微镜的样品。[技术方案]该显微镜，当电流为基准电流，以调整物镜的位置刚好可与焦点位置调整部分包括样品Z，Z位置进行调整，第一和第二的物镜1的样品1的Z位置时，以确定当前焦点第一处理器1正焦位置，第一将焦点从电流和参考电流之间的差值1，变化量的差值相对应的第二加工Z位置2，z位置的样品，得自第一的第第二变化量第一的处理器1，2，2，3，第一级使位置控制方法，当物镜第一和第二22的z位置样本以确定当前焦点位置所述正聚焦处理4 : 第一，第二，第三，1，2基于当前焦点的当前焦点，参考电流第一的正聚焦位置时确定样本的Z5次处理中，被执行。图[图2] |
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