| 光杠杆传动机构检测在扫描探针显微镜 |
| EP18161009 2018-3-9 发明申请 |
| 2018-9-12 |
| 扫描探针显微镜，包括 : 激光源(61)；光检测器62；和Y向驱动机构(701)设置用于至少一个激光源(61)或光检测器62，用于驱动物体在第第一方向(Y方向)的光轴垂直的平面中对象。Y驱动机构(701)包括 : Y丝杠轴(21)在Y方向上延伸；Y导向轴(23)延伸的平行于y-螺旋轴上；支撑物体的支撑部件(24)，所述螺杆相连接的支承构件与Y轴21通过螺母部件(211)拧在Y丝轴(21)以及耦接于该Y导向轴(23)通过滑动构件(231)安装在Y导向轴(23)以可滑动的方式；和Y向驱动电机(22)上旋转Y-丝杠轴(21)。 |
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