| 扫描电子显微镜 |
| EP18159790 2018-3-2 发明申请 |
| 2018-9-12 |
| 扫描电子显微镜(100)具有带电粒子的处理的装置，样品(S)利用带电粒子束，扫描电子显微镜(100)，其包括 : 电子源(12)；二次电子检测器(30)，其检测从试样产生的二次电子；反向散射电子检测器(40)，其设置成更靠近所述电子源(12)的检测面(32)二次电子检测器(30)检测背向散射产生的电子从试样(S)；屏蔽板(50)，用于屏蔽检测面(32)的反向散射电子检测器；以及移动机构(60)移动屏蔽板(50)。在屏蔽板(50)移动的状态下由移动机构(60)，以屏蔽检测表面(32)的反向散射电子检测器(40)，屏蔽板(50)位于探测表面(32)之间的反向散射电子检测器的检测面(32)二次电子检测器(30)。 |
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