| 微型化，紧凑，原子力显微镜探头 |
| EP17197070 2017-10-18 发明申请 |
| 2018-4-25 |
| 用于原子力显微镜探针包括用于原子力显微镜尖端(PT1)定向于纵向方向(Y)，其特征在于 : -一端设有尖端的探针群回复的主要部分，可移动的或可变形的，连接至支撑结构(Smm2)，其固定到所述主表面的衬底；所述敏感部分和所述支撑结构是平面元件，主要是平行的平面中延伸到所述衬底的主表面；-所述敏感部分连接到所述支撑结构通过至少一个元件(ET1-ET4)，允许所述敏感部分沿该方向移动或伸缩；和尖端，所述敏感部分和所述支撑结构工程(b。)所述衬底在所述纵向方向的边缘。原子力显微镜，包括至少一个这样的探针。 |
微信公众号