| 一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法 |
| CN201711145220.3 2017-11-17 发明申请 |
| 2018-4-24 |
| 本发明公开了一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法。该方法具体为：将显微镜聚焦的位置介于待测超薄透明板的上表面和下表面之间，然后微调显微镜的物镜向上或向下移动，使聚焦位置逐渐靠近待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果待测超薄透明板上的瑕疵信息变得更清楚了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变大，则说明瑕疵位于待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果瑕疵信息变的更模糊了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变小，则说明瑕疵信息位于待测超薄透明板的下表面或者上表面。本发明的检测方法简单、有效、检测结果精确，能快速实现对于微米量级的超薄板上下表面微小瑕疵的检测。 |
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