| 基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜 |
| CN201711122134.0 2017-11-14 发明申请 |
| 2018-4-20 |
| 基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜，属于自动控制及成像技术领域。包括光源组件、单模光纤耦合组件、光束扫描组件、反射式支架4?1、信号采集组件和计算机，计算机控制光源组件发射的脉冲激光通过单模光纤耦合组件准直后进入光束扫描组件，光束扫描组件包括微机电扫描振镜3?4和函数发生器3?5，计算机通过函数发生器3?5控制微机电扫描振镜3?4转动，进入光束扫描组件的脉冲激光经微机电扫描振镜3?4反射后再经过反射式支架4?1与目标物体反应产生光声信号，光声信号经透光反声的薄片反射后被信号采集组件采集并传送到计算机进行保存和处理。本发明体积小、重量轻，具有较大的扫描范围和较高的扫描精度。 |
微信公众号