| 一种透射电镜样品杆真空存储与测试装置 |
| CN201621329397.X 2016-12-6 实用新型 |
| 2017-6-6 |
| 一种透射电镜样品杆真空存储测试装置属于透射电子显微镜真空配件领域。在样品杆存储的同时，可对样品杆进行通电，加热测试。该装置包括可移动机架，真空泵系统，真空测量与显示系统，真空罩，阀门系统，样品杆存储组件及堵塞。该装置可同时存储多根的样品杆，并预留增加窗口。该装置可在5分钟内将腔体内气压从空气气压抽到4×10?4Pa，极限真空可达5×10?5Pa。该装置可以有效避免样品杆在外界放置时受到污染或侵蚀而污染电镜，可大幅度缩短样品杆在电镜中的预抽时间，使电镜更快达到稳定的真空度，增加样品杆的使用寿命。本装置操作方便，真空度好，易于添加样品杆存储工位，适用于不同类型的透射电镜样品杆使用。 |
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