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基于光片显微镜的三维表面形貌仪
CN201721635477.2 2017-11-30 实用新型
2018-9-4
本实用新型公开了一种基于光片显微镜的三维表面形貌仪,包括照明模块和成像模块;所述照明模块包括光源,光学准直器和柱形透镜依次沿同一光轴设置,所述的成像模块包括显微镜物镜,镜筒透镜和相机依次沿同一光轴设置,所述成像模块的光轴与照明模块的光轴的夹角为90度。本实用新型采用光片扫描的方式测量表面形貌,其扫描成片状扫描,非逐点扫描测量,有效提高测量速度。
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