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透射电子显微镜样品对准系统和方法

US15896597 2018-2-14 发明授权

2018-9-4

一种系统和方法，包括将电子束施加到样品并获得具有所施加的电子束的样品的图像。基于图像中的反射分布自动确定样品相对于样品的区域轴的取向。基于所确定的取向，自动调整样品的取向以与样品的区域轴对齐。