| 扫描探针显微镜 |
| JP2017031447 2017-2-22 发明申请 |
| 2018-8-30 |
| [问题]在测量过程中，即使悬臂偏转的不良因素，用于扫描探针显微镜的探针，能够正确测量其动态·电磁相互作用。[技术方案]该悬臂15设置在光反射面和光照射部(171)的活动端所述测量，从反射表面反射的光具有光接收表面的入射受光面积表面的宽度大于所述光接收面分割为多个区域，通过检测反射光带受光部174，多个基于悬臂弯曲变形量计算装置的数量比为15 : 41，所述悬臂的悬臂偏转的基端15，10，15到第k个取样距离变化阈值判断或不是判定部(42)的上方，所述阈值变化时第k的变化量小于所述光接收表面的光接纳面移动机构(18)，以消除扫描探针显微镜的移动。图[图3] |
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