| 一种基于原子力显微镜的多波段样品辐照装置 |
| CN201810316260.8 2018-4-10 发明申请 |
| 2018-8-24 |
| 本发明公开了一种基于原子力显微镜的实时测量样品材料在特定波段光辐照条件下表面力、电、磁、热学性能的装置。装置系统主要由辐照装置、外部光源及光导纤维构成，其中辐照装置由外壳、点光源、透镜、遮光罩组成，使用时辐照装置部分配合原子力显微镜安装于载物台下，外部光源发出特定波段(紫外、可见光及红外)的入射光束，光束经光导纤维传导至辐照装置内部的点光源并向上呈点状扩散，发散光经透镜约束呈平行光照射材料样品表面。该装置系统独立于原子力显微镜的激光系统且不与其产生干涉，通过采用不同的外部光源或加装滤光片的方式对辐照波段进行调节，通过变更原子力显微镜扫描探针模块及软件方案的方式实现对样品力、电、磁、热学等多种性能指标的实时检测。与现有测试方法相比，本发明能够更为准确的反映材料在辐照过程中相关性能指标的变化情况。 |
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