| 用于扫描电子显微镜系统电子源结构 |
| US15887861 2018-2-2 发明申请 |
| 2018-8-23 |
| 一种扫描电子显微镜(SEM)系统，包括多个电子光学柱和多个电子束源。 所述电子束源包括发射器，所述发射器包括被配置成产生多个电子束中的一个或多个电子束的一个或多个发射器尖端。 所述电子束源包括一个或多个定位器的叠层，所述一个或多个定位器被配置成基于由所述发射器产生的电子束的一个或多个测量来调整所述发射器的位置。 所述发射器被配置为横跨围绕所述多个电子光学列中的电子光学列的孔的区域扫描所述一个或多个电子束。 电子束源阵列包括载板和源塔。 所述源塔被配置为相对于所述多个电子光学列的位置调节所述多个电子束源的位置。 |
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