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扫描电子显微镜
US15902251 2018-2-22 发明申请
2018-8-23
一种扫描电子显微镜,包括 : 透射电子束的衬管; 闪烁体,所述闪烁体具有通孔,所述衬管插入所述通孔中; 光导,其引导由所述闪烁体产生的光; 导电层,设置在所述闪烁体的敏感表面上; 以及设置在闪烁体中的导电构件,其中衬里管和导电构件之间的最短距离小于衬里管和导电层之间的最短距离,用于加速电子的电压施加到导电层,并且导电层和导电构件具有相同的电位。
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