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一种用于透射电子显微镜的方法和装置

EP17157161 2017-2-21 发明申请

2018-8-22

本发明涉及一种方法和装置，所述TEM样品的透射电子显微镜图(1，12)进行至少一个减薄步骤的至少一个区域的划痕样品SPM探针(4)，并且其中所述减薄区进行SPM获取步骤，使用其的SPM探针或探针。