| 基于环境可控型原子力显微镜的数控旋转式探针切换装置 |
| CN201810637066.X 2018-6-20 发明申请 |
| 2018-8-21 |
| 本发明公开了一种基于环境可控型原子力显微镜的数控旋转式探针切换装置，包括腔体上盖和探针切换结构。所述腔体上盖设置有非规则类矩形凸台、内凹槽、矩形光窗结构以及密封法兰结构。本发明具有如下突出优点：1)非规则类矩形凸台、内凹槽、矩形光窗结构以及密封法兰结构设计显著增加了腔体内部工作空间并且有效提高了空间利用率；2)内凹槽、L型过渡板连接结构以及探针托架与探针载动块非对称配合设计有效保证了激光垂直聚焦高度和聚焦位置；3)能够在真空、气氛、液体等不同工作环境中通过程序控制实现多达8根不同功能探针的高效、精确切换，进而在同一工作环境中原位实现表面形貌扫描、拉曼光谱分析、微观摩擦磨损和摩擦系数测量等功能。 |
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