| 结合用于修饰物体表面的装置的扫描探针显微镜 |
| US15541669 2015-7-10 发明授权 |
| 2018-8-21 |
| 一种用于监测纳米切削后的物体和研究低温下宏载体和微载体的结构的显微镜，包括 : 具有切削刃的冲头；沿两个轴线驱动冲头的驱动器；可在平面内旋转的平台；沿三个轴线记录样品图像的压电扫描器；具有样品载体的保持器；以及探针固定到其上的探针单元。 压电扫描器固定在平台上，冲头能够与样品相互作用，探针单元安装在平台上，以便能够沿其中一个轴线移动。 该组件包括用于在冲头的切削刃上进行机械作用以修改切削表面的模块，该模块被紧固到带有物体载体的压电扫描器和探针单元被紧固到的同一平台上。 |
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